VOC廢氣處理方法有:噴霧+等離子體、噴霧+UV光解、噴霧+光解等離子體、微生物法、RCO燃燒法、濃度回收法。在實際工程應用中，對于氣量小、濃度低的地方，可以考慮采用微生物法。一般建議在支持其他處理工藝之前使用噴霧預處理。

　　核心原理是生物降解，***點:無二次污染，能耗小;缺點:操作要求高，設備體積***，需要定期補充微生物，維護費用高。

　　其核心原理是高溫燃燒，***點:主要用于高濃度有機廢氣，污染成分分解徹底;缺點:能耗高，運行要求高，設備體積***，存在一定的安全隱患。

　　核心原理是萃取濃縮，***點:主要為單一組分的廢氣回收有價值的組分，經濟效益高;缺點:操作要求高。

　　核心原理是等離子場分解，***點:設備占地面積小，主要用于低濃度;缺點:存在一定的安全隱患，凈化效果不穩定。

　　核心原理是臭氧分解，***點:凈化效果高，處理效果穩定，主要用于低、中濃度;缺點:需要控制氧化停留時間。